Osisi sekit nke ziri ezi na-ezo aka n'iji ọmarịcha ahịrị obosara / oghere, obere oghere, obosara mgbanaka dị warara (ma ọ bụ enweghị obosara mgbanaka), na oghere lie na kpuru ìsì iji nweta njupụta dị elu.Na elu nkenke pụtara na n'ihi "mkpa, obere, warara, mkpa" ga-apụghị izere ezere wetara elu nkenke chọrọ, na-akara obosara dị ka ihe atụ: O. 20mm akara obosara, dị ka ụkpụrụ na-emepụta O. 16 ~ 0.24mm tozuru oke, njehie bụ (O.20 ± 0.04) mm;na O. Maka obosara ahịrị nke 10mm, njehie bụ (0.10 ± 0.02) mm.N'ụzọ doro anya, izi ezi nke ikpeazụ na-amụba okpukpu abụọ, na ihe ndị ọzọ adịghị esiri ike nghọta, ya mere, a gaghị atụle ihe ndị dị elu dị elu nke ọma.Mana ọ bụ nsogbu a ma ama na teknụzụ mmepụta. 
(1) Teknụzụ waya mara mma
A ga-agbanwe obosara waya mara mma dị elu n'ọdịnihu site na 0.20mm-O.13mm-0.08mm-0.005mm nwere ike izute chọrọ nke SMT na multi-chip ngwugwu (Multichip Package, MCP).Ya mere, a chọrọ usoro ndị a.
① Iji mkpa ma ọ bụ ultra-akpa ọla kọpa foil (<18um) mkpụrụ na ezi n'elu ọgwụgwọ technology. ② Iji thinner akọrọ film na mmiri film usoro, mkpa na ezi àgwà akọrọ film nwere ike ibelata akara obosara distoration na ntụpọ.Lamination mmiri nwere ike mejupụta obere oghere ikuku, na-abawanye nchikota ihu, ma melite iguzosi ike n'ezi ihe na izi ezi waya. ③ Iji ihe nkiri foto resisist eletrọd (Electro-deposited Photoresist, ED).Enwere ike ịchịkwa oke ya na oke nke 5-30 / um, nke nwere ike ịmepụta wires dị mma zuru oke, karịsịa maka obosara mgbanaka dị warara, enweghị obosara mgbanaka na electroplating zuru ezu.Ugbu a, enwere ihe karịrị ahịrị mmepụta ED iri n'ụwa. ④ Iji teknụzụ mkpughe ọkụ yiri ya.Ebe ọ bụ na mkpughe ọkụ yiri ya nwere ike imeri mmetụta nke ọdịiche obosara nke ahịrị kpatara site na ìhè oblique nke "isi iyi" ọkụ, enwere ike nweta wires dị mma nke nwere akụkụ obosara ziri ezi na akụkụ dị ọcha.Otú ọ dị, akụrụngwa ikpughe ihe yiri ya dị oke ọnụ, na-achọ nnukwu ego, ma na-achọ ọrụ na gburugburu ebe dị ọcha. ⑤ Nabata teknụzụ nyocha ngwa anya akpaka (Nyocha ngwa anya, AOI).Nkà na ụzụ a aghọwo ụzọ dị mkpa a na-achọpụta na mmepụta nke waya ndị dị mma, a na-akwalite ngwa ngwa, tinye ma mepụta ya.Dịka ọmụmaatụ, ụlọ ọrụ AT&T nwere 11 AoIs, yana} ụlọ ọrụ tadco nwere 21 AoIs nke ejiri ya chọpụta eserese nke oyi akwa dị n'ime. (2) Teknụzụ Microvia
Oghere ndị na-arụ ọrụ nke bọọdụ ndị e biri ebi nke a na-eji na-arị elu elu na-arụ ọrụ nke njikọ eletrik, nke na-eme ka ngwa nke teknụzụ microvia dị mkpa.Iji ihe eji egwu egwu egwu na igwe CNC na-egwupụta obere oghere nwere ọtụtụ ọdịda na ọnụ ahịa dị elu.Ya mere, densification nke mbadamba e biri ebi na-abụkarị n'ihi densification nke wires na pads.Ọ bụ ezie na e mewo ihe ndị dị ukwuu, ikike ya nwere oke.Iji meziwanye njupụta (dị ka wires na-erughị 0.08mm), ọnụ ahịa ya dị ngwa ngwa.lita, si otú a na-atụgharị na iji micropores iji meziwanye densification.
N'ime afọ ndị na-adịbeghị anya, e meela ọganihu na igwe CNC na-egwupụta ihe na teknụzụ micro-drill, ya mere teknụzụ micro-hole etolitela ngwa ngwa.Nke a bụ isi ihe a ma ama na mmepụta PCB ugbu a.N'ọdịnihu, nkà na ụzụ nke ịmepụta obere oghere ga-adabere na igwe CNC dị elu na obere isi ndị mara mma, ebe oghere ndị e ji teknụzụ laser kpụrụ ka dị ala karịa ndị CNC na-egwupụta igwe na-emepụta site n'echiche nke ọnụ ahịa na oghere dị mma. . ① CNC igwe na-egwupụta ihe ugbu a, nkà na ụzụ nke igwe na-egwupụta ihe na-eme ka ọ dị ọhụrụ na ọganihu.Ma mepụta ọgbọ ọhụrụ nke igwe na-egwupụta ihe nke CNC nke e ji na-egwupụta obere oghere.Ịrụ ọrụ nke ịkụnye obere oghere (ihe na-erughị 0.50mm) site na igwe na-egwupụta micro-hole bụ 1 ugboro dị elu karịa nke igwe CNC nke a na-emebu, na-enwe obere ọdịda, na ntụgharị ntụgharị bụ 11-15r / min;ọ nwere ike ịkụnye O. 1 ~ 0.2mm micro-holes, a na-eji obere ihe ọkụkụ dị elu nke nwere nnukwu cobalt dị elu, na efere atọ (1.6mm / ngọngọ) nwere ike ịkwado maka ịkụ ala.Mgbe a na-agbaji olulu ahụ, ọ nwere ike ịkwụsị na-akpaghị aka ma kọọ ọkwa ahụ, na-akpaghị aka na-edochi ihe nkedo ahụ ma lelee dayameta (akwụkwọ akụkọ ngwá ọrụ nwere ike ịnweta ọtụtụ narị iberibe), ma nwee ike ịchịkwa ebe dị anya mgbe niile n'etiti ọnụ mmiri na mkpuchi. efere na omimi ihe omimi, ya mere enwere ike igbapu oghere kpuru ìsì., na agaghị emebi countertop.Tebụl igwe na-egwupụta ihe nke CNC na-anabatakwa ikuku ikuku na ụdị na-ese n'elu mmiri magnetik, nke na-aga ngwa ngwa, dị ọkụ na nke ziri ezi karị, na-agaghị ewepụ tebụl ahụ.Igwe igwe igwe dị otú ahụ dị ụkọ ugbu a, dị ka Mega 4600 sitere na Prute na Ịtali, usoro ExcelIon 2000 na United States, na ngwaahịa ọgbọ ọhụrụ sitere na Switzerland na Germany. ② Enwere ọtụtụ nsogbu na igwe na-egwupụta laser nke igwe CNC na-egwupụta ihe na ihe na-egwupụta obere oghere.Ọ gbochiri ọganihu nke teknụzụ oghere micro, ya mere a na-elebara oghere laser anya anya, nyocha na ngwa.Ma enwere mbelata na-egbu egbu, ya bụ, nguzobe nke oghere mpi, nke na-abawanye ụba nke ọkpụrụkpụ efere.Na mgbakwunye na mmetọ nke elu okpomọkụ ablation (karịsịa multi-layer mbadamba), ndụ na mmezi nke ìhè isi iyi, na repeatability nke etching oghere na na-eri, nkwalite na ngwa nke micro oghere na mmepụta nke e biri ebi mbadamba nwere. nwere oke.Otú ọ dị, a ka na-eji ablation laser na obere microplates dị gịrịgịrị na nke dị elu, karịsịa na teknụzụ njikọ njikọ dị elu (HDI) nke MCM-L, dị ka M. c.E tinyela ya na njikọ njikọ dị elu na-ejikọta polyester film etching na Ms na ntinye ígwè (usoro ịgbasa).E liri ya site na nhazi na bọọdụ multilayer njikọ njikọ dị elu nke e liri na kpuru site na ihe owuwu nwekwara ike tinye ya n'ọrụ.Otú ọ dị, n'ihi mmepe na nkà na ụzụ mmepụta ihe nke igwe CNC na-egwupụta ihe na obere ihe ọkụkụ, akwalitela ngwa ngwa ma tinye ha n'ọrụ.Ya mere, laser gbawara oghere n'elu Ngwa dị na bọọdụ sekit etinyegoro enweghị ike ịchị.Mana ọ ka nwere ebe n'otu mpaghara. ③ Teknụzụ e liri, kpuru ìsì na site na oghere Nchikota nke teknụzụ eli ozu, kpuru ìsì na site na oghere bụkwa ụzọ dị mkpa iji meziwanye njupụta dị elu nke sekit ebipụtara.N'ozuzu, e liri na vias bụ obere oghere.Na mgbakwunye na-amụba ọnụ ọgụgụ nke wirings na osisi, lie na kpuru vias na-interconnected n'etiti "kasị nso" n'ime n'ígwé, nke ukwuu ebelata ọnụ ọgụgụ nke site oghere kpụrụ, na ntọala nke iche diski ga-ukwuu ibelata ọnụ ọgụgụ nke. vias.Ewelatalata, si otú ahụ na-amụba ọnụ ọgụgụ nke irè wiring na interlayer interconnection na osisi, na-eme ka elu njupụta nke interconnections.Ya mere, multi-layer osisi na Nchikota lie, kpuru na site-oghere bụ dịkarịa ala 3 ugboro elu karịa ot niile-site-oghere osisi Ọdịdị n'okpuru otu size na ọnụ ọgụgụ nke n'ígwé.A ga-ebelata oke osisi a na-ebipụta akwụkwọ na-ejikọta ya na oghere ma ọ bụ ọnụ ọgụgụ nke akwa akwa ga-ebelata nke ukwuu.Ya mere, na elu-njupụta elu ugwu e biri ebi mbadamba, lie na kpuru site na teknụzụ na-esiwanye eji, ọ bụghị nanị na elu ugwu biri ebi mbadamba na nnukwu kọmputa, nkwurịta okwu ngwá, wdg, kamakwa obodo na ulo oru ngwa.Ọ na-e ọtụtụ ebe na-eji na ubi nke , na ọbụna na ụfọdụ mkpa mbadamba, dị ka mkpa mbadamba na ihe karịrị isii n'ígwé nke dị iche iche PCMCIA, Smart, IC kaadị, wdg. Nke bọọdụ sekit e biri ebi na oghere e liri na kpuru ìsì A na-emecha ihe owuwu site na usoro mmepụta nke "gbawara agbawa", nke pụtara na enwere ike ịmecha ya mgbe ọtụtụ oge ịpị, mkpọpu, oghere oghere, wdg, ya mere idobe ya nke ọma dị ezigbo mkpa.. 
English en 
