Жаһандық электропластиналық ПХД өнеркәсібінің шығу құны электронды құрамдас өнеркәсіптің жалпы шығару құнында тез өсті.Бұл электронды құрамдас бөлімшелер индустриясында ең үлкен үлеске ие сала және бірегей позицияға ие.ПХД электропластинаның жылдық шығару құны 60 миллиард АҚШ долларын құрайды.Электрондық өнімдердің көлемі барған сайын жұқа және қысқа болып келеді, ал тікелей соқыр вентильдерге вентильдерді жинақтау жоғары тығыздықтағы өзара байланысты алудың жобалық әдісі болып табылады.Шұңқырды жақсы төсеу үшін, ең алдымен, тесік түбінің тегістігін жақсы орындау керек.Әдеттегі тегіс саңылау бетін жасаудың бірнеше жолы бар, ал электропластикалық саңылауларды толтыру процесі репрезентативті болып табылады. Процесті қосымша әзірлеу қажеттілігін азайтумен қатар, электропландау және саңылауларды толтыру процесі қазіргі технологиялық жабдықпен үйлесімді, бұл жақсы сенімділікке қол жеткізуге мүмкіндік береді. Саңылауларды электроплаткамен толтыру келесі артықшылықтарға ие: (1) Stacked және Via.on.Pad дизайнын жасау пайдалы ( HDI схемасы ); (2) Электрлік өнімділікті жақсарту және көмектесу жоғары жиілікті дизайн ; (3) Жылуды бөлуге көмектеседі; (4) Штепсельдік саңылау және электрлік қосылу бір қадамда аяқталады; (5) Соқыр саңылаулар ток өткізгіш желімге қарағанда сенімділігі жоғары және жақсы өткізгіштігі бар электропластырылған мыспен толтырылған.
Физикалық әсер ету параметрлері Зерттелетін физикалық параметрлерге мыналар жатады: анод түрі, катод-анод аралығы, ток тығыздығы, араластыру, температура, түзеткіш және толқын пішіні және т.б. (1) Анод түрі.Анод түрлеріне келетін болсақ, бұл еритін анодтар мен ерімейтін анодтардан басқа ештеңе емес.Еритін анодтар әдетте құрамында фосфоры бар мыс шарлар болып табылады, олар анодты шламды оңай шығарады, қаптау ерітіндісін ластайды және қаптау ерітіндісінің өнімділігіне әсер етеді.Инертті анодтар деп те аталатын ерімейтін анодтар әдетте тантал мен цирконийдің аралас оксидтерімен қапталған титан торынан тұрады.Ерімейтін анод, жақсы тұрақтылық, анодқа техникалық қызмет көрсетілмейді, анодтық шөгінділер жоқ, импульстік немесе тұрақты токпен электроплату үшін жарамды;дегенмен, қоспаларды тұтыну үлкен. (2) Катод пен анод арасындағы қашықтық.Толтыру процесі арқылы электропландау кезінде катод пен анод арасындағы аралық дизайн өте маңызды және жабдықтың әртүрлі түрлерінің дизайны да әртүрлі.Дегенмен, ол қалай жобаланса да, Фараның бірінші заңын бұзбауы керек екенін атап өткен жөн. (3) Араластыру.Араластырудың көптеген түрлері бар, мысалы, механикалық шайқау, электрлік діріл, газды діріл, ауамен араластыру, тәрбиеші және т.б. Электрлік қаптау және толтыру үшін, әдетте, дәстүрлі мыс цилиндрінің конфигурациясына негізделген реактивті дизайнды ұлғайту қажет.Дегенмен, төменгі ағын немесе бүйірлік ағын болсын, цилиндрдегі ағынды түтік пен ауа араластырғыш түтікшені қалай орналастыру керек;сағатына ағынның ағыны қандай;реактивті түтік пен катодтың арақашықтығы қандай;егер бүйірлік ағын пайдаланылса, ағын анодта Алдыңғы немесе артқы жағында;егер астыңғы ағын пайдаланылса, ол біркелкі емес араластыруды тудыруы мүмкін және қаптау ерітіндісі әлсіз жоғары және төмен араластырылады;Көп сынақтан өту үшін. Сонымен қатар, ағынды бақылау мақсатына жету үшін әрбір ағынды түтікшені шығын өлшегішке қосу ең тамаша әдіс болып табылады.Үлкен ағын ағынының арқасында ерітінді қызуға бейім, сондықтан температураны бақылау да маңызды. (4) Токтың тығыздығы және температурасы.Төмен ток тығыздығы және төмен температура тесікке жеткілікті Cu2 және ағартқышты қамтамасыз ете отырып, беткі мыстың шөгу жылдамдығын төмендетуі мүмкін.Мұндай жағдайларда саңылауларды толтыру мүмкіндігі артады, бірақ жабу тиімділігі де төмендейді. (5) Түзеткіш.Түзеткіш электропландау процесіндегі маңызды буын болып табылады.Қазіргі уақытта электропландау және толтыру бойынша зерттеулер негізінен толық борттық электроплантациямен шектеледі.Егер үлгіні электропландау және толтыру қарастырылса, катод аймағы өте аз болады.Бұл кезде түзеткіштің шығыс дәлдігіне жоғары талаптар қойылады. Түзеткіштің шығыс дәлдігін таңдау өнімнің сызығына және өткізу тесігінің өлшеміне сәйкес анықталуы керек.Сызықтар неғұрлым жұқа болса және саңылаулар неғұрлым аз болса, түзеткіштің дәлдік талаптары соғұрлым жоғары болуы керек.Әдетте, шығыс дәлдігі 5% шегінде түзеткішті таңдаған жөн.Тым дәл түзеткішті таңдау жабдыққа инвестицияны арттырады.Түзеткіштің шығыс кабелін жалғаған кезде, алдымен түзеткішті жалататын резервуардың шетіне мүмкіндігінше орналастырыңыз, бұл шығыс кабелінің ұзындығын қысқартуы және импульстік токтың көтерілу уақытын азайтуы мүмкін.Түзеткіштің шығыс кабелінің сипаттамасын таңдау максималды шығыс тоғының 80% кезінде шығыс кабелінің желілік кернеуінің төмендеуіне 0,6 В шегінде сәйкес келуі керек.Әдетте, қажетті кабель қимасының ауданы 2,5А/мм ағымдағы өткізу қабілетіне сәйкес есептеледі:.Егер кабельдің көлденең қимасының ауданы тым аз болса, кабель ұзындығы тым ұзын болса немесе желідегі кернеудің төмендеуі тым үлкен болса, беру тогы өндіріске қажетті ток мәніне жетпейді. Резервуардың ені 1,6 м-ден асатын қаптамалық резервуар үшін екі жақты қуат беру әдісін қарастыру керек және екі жақты кабельдердің ұзындығы тең болуы керек.Осылайша, екі жақты ток қателігін белгілі бір диапазонда бақылауға кепілдік беруге болады.Кесектің екі жағындағы токты бөлек реттеуге болатындай етіп, қаптама резервуарының әрбір флайбарының екі жағына түзеткіш қосылуы керек. (6) Толқын пішіні.Қазіргі уақытта толқын пішіні тұрғысынан электроплантациялау мен толтырудың екі түрі бар: импульстік гальванизация және тұрақты токпен қаптау.Электрмен қаптау мен саңылауларды толтырудың осы екі әдісі зерттелді.Дәстүрлі түзеткіш тұрақты токпен қаптау және саңылауларды толтыру үшін қолданылады, ол оңай жұмыс істейді, бірақ пластина қалыңырақ болса, ештеңе істеуге болмайды.PPR түзеткіш импульстік электропластика және саңылауларды толтыру үшін қолданылады, оның көптеген операциялық қадамдары бар, бірақ қалың технологиялық тақталар үшін күшті өңдеу мүмкіндігі бар.
Субстраттың әсері Субстраттың электроплантацияға және тесіктерді толтыруға әсерін елемеуге болмайды.Әдетте, диэлектрлік қабат материалы, саңылау пішіні, арақатынасы және химиялық мыс қаптауы сияқты факторлар бар. (1) Диэлектрлік қабат материалы.Тесіктерді толтыруға диэлектрлік қабаттың материалы әсер етеді.Шыны емес арматура шыны талшықты арматураға қарағанда саңылауларды толтыру оңайырақ.Тесіктегі шыны талшықтарының шығыңқы жерлері химиялық мысқа зиянды әсер ететінін атап өткен жөн.Бұл жағдайда саңылауларды электрокапингпен толтырудың қиындығы саңылауларды толтыру процесінің өзінен гөрі, электрсіз қаптау тұқым қабатының адгезиясын жақсарту болып табылады. Шын мәнінде, шыны талшықты арматураланған субстраттардағы электропландау және толтыру саңылаулары нақты өндірісте қолданылған. (2) Формат арақатынасы.Қазіргі уақытта әртүрлі пішіндегі және өлшемдегі тесіктерге арналған саңылауларды толтыру технологиясын өндірушілер де, әзірлеушілер де жоғары бағалайды.Тесіктерді толтыру қабілетіне тесік қалыңдығының диаметрге қатынасы қатты әсер етеді.Салыстырмалы түрде айтатын болсақ, тұрақты ток жүйелері коммерциялық мақсатта көбірек қолданылады.Өндірісте тесіктің өлшем диапазоны тар болады, әдетте диаметрі 80pm ~ 120Bm, тесік тереңдігі 40Bm ~ 8OBm және қалыңдығы-диаметрінің қатынасы 1:1 аспайды. (3) Электрсіз мыс қаптау қабаты.Электрсіз мыс қаптау қабатының қалыңдығы мен біркелкілігі және электрсіз мыс қаптаудан кейінгі тұру уақыты тесіктерді толтыру өнімділігіне әсер етеді.Электрсіз мыс тым жұқа немесе қалыңдығы біркелкі емес және оның тесіктерді толтыру әсері нашар.Әдетте, химиялық мыстың қалыңдығы > 0,3pm болғанда тесіктерді толтыру ұсынылады.Сонымен қатар, химиялық мыстың тотығуы да тесіктерді толтыру әсеріне теріс әсер етеді. 
English kk 
